精密测量技术及仪器研究团队

（一）团队情况

团队围绕高精密、高品质制造对精密测量技术及仪器的重大需求开展创新性研究，对高端加工制造工具、包括蓝宝石在内的光电材料等对象，在基础理论、测试装备、评判软件、技术标准等方面进行深入的探索、研究和实践，以期解决相关行业中有关于测试、计量和仪器设备的关键、基础和共性技术难题，形成某些拥有自主知识产权、作为高端精密制造仪器测试技术基础的软硬件支撑技术平台。

近年来，研究中心以下几个研究方向逐渐形成研究特色：

1.光电材料表面形貌精密测量与测试技术；

2.磨具等难测量表面形貌及磨损的精密测量理论和表征方法；

3.精密位移驱动控制原理和技术；

4.形位误差测量及不确定度分析理论与方法；

5.复杂对象的测量和评定技术与方法。

团队成员中，1人入选在闽优秀台湾人才、1人入选厦门市台湾特聘专家。近三年，团队主持参与国家自然科学基金项目、省部级科研项目、企业横向课题数十项。

 

（二）部分国家课题

基于数字微镜原理的砂轮表面复杂形貌跨尺度三维测量理论与方法

超声固接金属增材制造压电振子系统分析与设计

基于DMD的砂轮表面三维形貌彩色共焦测量方法研究

大行程纳米级一维压电陶瓷驱动控制关键技术与系统研究

数字图象颜色信号处理系统的研究

白光干涉垂直扫描系统及微纳驱动关键技术研究

玻璃瑕疵檢測系統開發

黏晶製程封膠品質與晶片傾斜度檢測系統

車用鏡片線上瑕疵檢測系統

 

（三）校企合作项目

大尺寸高精度快速化显示面板表面质量检测系统及装置的研制

大尺寸高精度快速化平板表面质量检测装置的研制

（四）部分科研成果

金刚石砂轮表面形貌垂直扫描白光干涉测量和识别理论及个性化砂轮形貌评定参数体系的构建

基于光学显微层析成像垂直扫描原理的金刚石砂轮表面形貌在位测量与分析方法研究

形位误差测量的提取新理论与方法研究

大尺寸高精度快速化平板表面质量检测装置的研制

蓝宝石LED衬底表面缺陷检测和综合评定方法研究

基于3D-motif 的金刚石砂轮形貌参数评定体系研究