仪器主要结构包括:显微干涉镜、成像光路及镜筒、光源、CCD、垂直扫描工作台、PZT驱动电源、显示器、工控机等,实验系统如图所示。
仪器技术指标:垂直测量范围40微米;垂直测量分辨率0.010微米;测量面积0.36×0.27毫米2;显微镜数值孔径:0.40;系统横向分辨率:0.5微米;显微镜放大倍数:20×;显微镜工作距离:4.7mm;CCD像素:1280×1024。
应用领域:表面形貌的二、三维测量、MEMS结构测试、刻线和沟槽尺寸测量、台阶测量等。
金刚石砂轮磨粒及其表面形貌
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