基于散射共焦显微测量的衬底表面缺陷检测方法：利用光散射法对整个衬底表面2D 测量范围快速扫描，实现宏观信息的获取，再根据缺陷特征的定位，利用共焦层析扫描显微特性获取缺陷个体局部微观3D信息。

衬底表面缺陷综合评定方法：重点展开对划痕、裂纹、气泡、坑点、崩角等缺陷的特征分类；基于缺陷特征定量表征，获得表面缺陷的损伤分布规律以及缺陷个体的个性化参数评价。