基于数字微镜原理的砂轮表面复杂形貌跨尺度三维测量理论与方法
部门: 发布时间:2019-06-24 浏览次数:

彩色共焦测量方法在物方沿光轴方向对光束进行光谱分解,不同光谱的光束聚焦在不同的高度上,随着被测物面高度的变化,这些被分解、聚焦的光束反射到光电探测器的表面,进而建立光谱信息与被测物面高度信息的对应关系,从而产生无需轴向运动的高度测量方法。


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