1．技术特点

常规的LCR表、谐振法和平衡电桥法、阻抗测试仪是无法精确测量高频段（1GHz以上）的电容。在射频/微波频段，测量电容主要使用矢量网络分析仪来进行，在射频/微波波段对电容进行扫频S参数测量。应用扫频方式测量的特点是可在多个频率同时测量电容值，并且数据采集处理简单，算法调整、升级方便。

为了尽可能地提高测试仪的灵活性和可维护性，我们拟采用虚拟仪器技术开发本项目电容测试仪，其组成框图如图1所示。微波矢量网络分析仪通过连接测试夹具上的SMA接头，分别获得待测电容、标准电容与传输线（即夹具上传输线分别粘接待测电容、标准电容和直接传输等三种情况）的S参数、Z参数、Y参数，然后这些参数通过矢量网络分析仪后面的数据采集卡与电缆，传送到电脑上的电容测试仪软界面上（应用虚拟仪器技术）如图2所示。

通过开发的误差校准算法与电容待测物理参数计算算法，在软件界面上得到各项测试值，并给出电容的等效电路模型。因此，这种采用虚拟仪器技术的电容测量方法操作简单、方便，软件会自动提示工人各项校准、操作步骤，并且有比较高的测量精度，也便于以后维护以及与其它参数测量相兼容。

         图1 测试仪组成框图       图2 测试仪组成框图（此图仅为说明用）

2．应用范围

微波电容测试方法与自动测试系统主要用于对高频电容的电容量（C）、Q值（或损耗角正切DF）、等效串联电阻（ESR）、谐振点、阻抗（Z）进行测试。测试系统利用网络分析仪测试，并通过自动测试软件实现参数设置、数据采集与处理、数据显示与存储等功能。

电子材料的发展在整个电子科技领域中总是处于最前沿的，它是电子工业和电子科学技术发展的物质基础，是电子技术进步的原动力。这不仅表现在电子产品的性能直接依赖于电子材料的特性，还表现在新型电子材料的开发能促进许多新型电子元器件的发展。针对不同外形尺寸、电气参数、物理状态和使用频段的介质材料，所用的测试方法和测试系统种类繁多，以满足各种电子器件的具体测试要求。

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