一种蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，包括机台(1)，其特征在于：还包括立式旋转臂(6)、主轴系统(9)、第一电机(8)、载物盘(10)和负压机构；该机台(1)顶面设有周向间隔布置的装卸位(2)、粗抛位(3)、腐蚀位(4)和精抛位(5)，该粗抛位(3)和精抛位(5)上都设有抛光部件，该腐蚀位(4)设有内装有腐蚀液的腐蚀槽(13)；该立式旋转臂(6)上部固设有悬臂(7)，该主轴系统(9)能相对悬臂(7)上下活动，该第一电机(8)和载物盘(10)都装接在主轴系统(9)上且第一电机(8)传动连接载物盘(10)，载物盘(10)能相对主轴系统(9)转动；该载物盘(10)上设有吸孔，该负压机构接通吸孔；该立式旋转臂(6)设于该周向的轴线处且能绕该轴线转动，通过立式旋转臂(6)转动能将载物盘(10)分别移至装卸位(2)、粗抛位(3)、腐蚀位(4)和精抛位(5)，在装卸位(2)通过载物盘(10)和负压机构配合以装卸晶片，在粗抛位(3)通过晶片 |
